Лампа ДРШ-500М СССР

Лампа ДРШ-500М короткодуговая, разрядная, сверхвысокого давления, ультрафиолетовая, непрерывного действия, предназначена для ипользования в качестве точечного источника коротковолнового УФ-излучения в фотолитографическом оборудовании микроэлектроники, в флуоресцентной микроскопии, в микрофотолитографии.. Используется в проекционных установках предназначенных для совмещения и помодульного экспонирования полупроводниковых пластин при производстве БИС, СБИС и других изделий электронной техники.